FMCW激光雷达科普(中):激光器、探测器与扫描

苏清涛
2021-10-22
来源:

本文是FMCW激光雷达科普系列的第二篇,点击超链接查阅上一篇:FMCW激光雷达科普(上):基本概念、技术路线、优势及争议和误解

FMCW激光雷达主要由激光器、探测器、相干光路及扫描部件构成。这些关键部分,最值得关注的是以下几点——

一.激光器波长:1550

1.为什么是1550?

目前,TOF激光雷达的激光器以905纳米为主,Luminar、图达通及一径科技等用的是1550纳米,而FMCW激光雷达的激光器,则全部都是清一色的1550纳米。那么,其中的缘由是?

洛微CTO Andy Sun说:我们做任何一个产品,首先要看供应链的成熟度吧,因为你不可能所有零部件都自己造。

具体到FMCW激光雷达,从原理上来说,激光器不是非得用1550nm,905nm也可以,并且,用1550nm做还是905nm做,技术上没有本质区别;只不过,在光通信领域,跟FMCW搭配的都是基于1550nm波段的器件,这些器件的供应链相对成熟,成本也可控,相比之下,基于905nm做FMCW的成本就太高了。

此外,考察连续光的人眼安全要求,1550nm的光功率上限要比905nm大40倍,在FMCW的相干放大原理下,理论上1550nm可以比905nm测试40倍远的距离。

多家FMCW激光雷达公司的创始人及技术负责人均认可“供应链成熟度”这一说法。

其中,一位技术负责人说:FMCW要保证回光能和本地光进行干涉,只有干涉了才能检测到目标,因此,对激光器的“相干性”要求很高(哪怕回光和反射光之间有几微秒的时延,也有很好的相干性)。在业界,相干性比较好的激光器别被称为“窄线宽激光器”,而现阶段,窄线宽激光器只有基于1550纳米的。

此外,这位负责人还说,FMCW激光雷达需要提高集成度,可高集成度的多通道产品通常要基于硅光做,而硅光只能跟1550搭配。

不过,挚感光子IC设计总监吴雷说,他们用的激光器是1310的纳米的,“通信里面对这种激光器用量很大,很便宜”。

话说,用于FMCW激光雷达上的激光器,跟用在TOF激光雷达上面的1550纳米激光器,材质是相同的(磷化铟),但结构并不一样——FMCW要求窄线宽(保证自相干性)、低噪声,这就导致两者的性能、良率、成本等完全不一样。

一位从业者业称,目前,FMCW激光雷达的1550激光器要比用于TOF的1550激光器贵得多,国内还没有能够量产的。

2.1550纳米激光器的优点

1550纳米激光器的优点,在关于TOF激光雷达的介绍中已经提得很多了,最关键的一点就是:不会影响人眼安全,因而可以把功率做得很高,进而实现比905纳米激光器更长的探测距离。

此外,哪怕在TOF中,1550克服阳光噪声的能力也比905强。

3.1550纳米激光器的缺点及存在的争议

1)成本太高,且短期内很难降下来

1550纳米激光器使用的材料不是硅CMOS,而是磷化铟,并且,它还需要外部电源和复杂的电子控制装置,因此,成本居高不下。此外,1550纳米激光器还需要跟昂贵的铟镓砷 APD配对使用。

某激光雷达厂商架构师认为,1550尽管在光通信领域中的用量已经不小了,但成本也没有降下来,因此,很难指望在激光雷达中就能降下来。

这位架构师说:“你有几百万台的量之后,相比于目前的几百几千台,成本肯定可以低不少,但相比于905,它还是要贵得多。这就类似于,你不能说金戒指我买很多,它的价格就能降到铜戒指的水平吧?这是由材料的物理特性决定的。

(2)容易被水雾吸收,在雨天无法正常工作

多数激光雷达厂商在跟《九章智驾》交流的过程中都提到,1550纳米激光器很容易被水雾吸收(几毫米厚的水层就可以把1550纳米激光的能量全部吸收,在光通信领域中的专业名词是“水空吸收”),难以被反射回来,因而在雨天难以正常工作。

一位不愿具名的FMCW激光雷达公司创始人说:
“我们圈子的人都是睁着眼睛说瞎话,说什么1550‘穿透能力好、抗干扰能力强’。我做过测试,往墙上泼水,在1550纳米激光器的眼里,墙是黑乎乎的一片,水流下来之后就好了。

“多次实验表明,只要遇上两毫米的水薄膜,我们的FMCW激光雷达就瞎了。这个问题是无解的。因此,FMCW激光雷达只能在阴天、晴天和小雨天用,大雨天就用不了。

TOF激光雷达厂商负责人也说,1550对人眼安全影响小的原因正是它容易被液态水吸收——激光还没有打到视网膜,就被眼球里面的水给吸收了;而容易被液态水吸收,确实也会导致,在地面车道线上有水、行人身上的衣服被淋湿的情况下,使用1550纳米激光器的激光雷达就测不了,或者是探测能力下降。

但光勺科技CEO姚建并不完全认可上述说法。姚建说:“FMCW的相干有两种,一直是调频,一直是调相。如果是调频,那1550纳米激光器受雨水的影响确实比较比较大,比如,探测距离从平时的500米衰减到50米;但我们用的调相技术,遇到大雨天气,探测距离还能达到平时的的50%左右。

不过,某FMCW激光雷达公司CEO奚先生则说:“在TOF中,1550纳米激光器易被雨雾吸收,会导致探测距离大大衰减,并且产生严重的噪点;而在FMCW中,有用使用相干检测,信噪比更高,因而,在同样使用1550nm激光,激光雷达穿透雨雾产生稳定点云的能力会更强

此外,洛微CTO Andy Sun认为,只看不同波段对水的吸收率是不完整的,因为,激光在遇见雨水后,被吸收只是一部分情况,还有很多变化是跟散射、折射相关的,在这两部分,不同波长的表现也是不一样的,比如短波的散射更强,因此要综合考虑。

Andy Sun称,2019年法国科研团队做了大量的理论分析和实验,结果发现,其实905nm和1550nm两个波段的激光器在雨雾天的表现是差不多的——1550nm的总体吸收率只比905nm高不到10%。这完全被人眼安全的考虑下1550nm可以提供更大出光功率的优势所掩盖。

某FMCW激光雷达公司CEO奚先生也提到了这组来自法国的实验。

但无论如何,沃尔沃、奥迪这些已经算是很保守的车企,都计划用Luminar基于1550的TOF激光雷达了,这或许意味着,在这些车企眼里,1550在雨天无法正常工作,并不算是一个多严重的问题?

3并非绝对能确保“人眼安全”

采访中,笔者提到一个问题:如果几辆搭载激光雷达的自动驾驶车辆聚集在一起,激光同时发射,正好汇集到一起,正对着人眼了,那瞬时功率就很高了,应该也会影响人眼安全?

对此,某TOF激光雷达厂商负责人的回答是:905纳米功率大的话是会伤害到视网膜,但视网膜类似于手机的感光图像的一个像素,激光从不同的地方打过去,影响到的是视网膜上不同的像素,因此,哪怕功率比较高,也不会把这几千万个像素都烧坏;而1550就不一样了,要烧坏,就整个区域都烧坏了——人眼对905纳米波段的敏感点在于其打在某个像素上的能量,而对1550纳米波段的敏感点在于其总能量。

简言之,1550纳米激光器其实也存在人眼安全问题——激光是没打到视网膜,但被角膜吸收了,如果功率过高,角膜也会受伤。

二.激光器和探测器的芯片化、集成化

1.单光子、通道数与点频

在采访的过程中,《九章智驾》反复问到一个问题:FMCW激光雷达会像一些TOF那样有许多个激光器,还是只有一个激光器?多数人的答案都是:理论上,激光器也可以有几十个、上百个,但在实践中,厂商们出于成本考虑,往往只会用1个激光器,FMCW激光雷达也被称为“单光子激光雷达”。

不过,尽管激光器的数量很少,但在分光器的协助下,实际发出的线数却可以很多,如Mobileye的FMCW激光雷达,号称是184线。激光器的数量也许不止一个,但肯定不会有几十、上百。

洛微CTO Andy Sun说:“能使用多少个通道,跟激光器的总光功率和分光器的何设置处理有关。”(需要注意的是,发射端可以只有一个激光器,但在接收端,探测器的数量跟通道数是完全一致的。)

“用分光器把一束光分成成百上千束,这会不会导致每一束光的功率过低?”当笔者向某激光雷达公司创始人提出这个疑问时,对方的回答是:“我在前端把功率提高不就行了?我1个1瓦的分成10束,跟你用10个100毫瓦的,总功率不是一样的吗?不过,前者的成本肯定要比后者低得多。 ”

在TOF激光雷达中,总点频=单个激光器的发射频率X激光器的数量,那么,在FMCW中,激光器的数量会不会限制了点频?

按某TOF激光雷达厂商负责人的说法,FMCW激光雷达的点频确实比TOF低,但原因并不在于激光器的数量更少,而在于TOF测距一次需要2微秒,而FMCW测距一次需要20微秒”。

对此,某FMCW激光雷达公司CEO奚先生的解释是:不同于TOF,FMCW激光雷达的点频并不依赖于激光本身的发射频率,而是依赖于后端信号调制解调的数据处理速度。因为激光持续在发射,后端的数据处理也在持续,后端的数据处理越快,前端产生的点频就越多。

简单地说,TOF激光雷达的点频是“供给推动型”,而FMCW激光雷达的点频则是“需求拉动型”。

不过,不管怎么说,FMCW激光雷达的点频比TOF低,却是大家都承认的事实。

对这个问题,光勺科技CEO姚建的说法是:我们现在可以做到每秒10-15帧,做到这个程度就够用了。对TOF激光雷达来说,是点频越高越好,但对FMCW激光雷达来说,因为每个点都有速度信息,不惜一切代价把点云密度做高的意义不大。

(为什么有了速度信息,点云密度就没有那么重要了?请参考本系列的第一篇文章FMCW激光雷达科普(上):基本概念、技术路线、优势及争议和误解

而洛微CMO贺润芃的说法则是:FMCW激光雷达因为信噪比更高,所以,哪怕分辨率(点云密度)没那么高,也可以实现很好的探测效果。

简言之,速度维数据和信噪比,共同降低了FMCW激光雷达对点频的要求。

2.低成本的探测器

不同于TOF激光雷达的探测器要用成本高昂的APD(雪崩光二极管)和SPAD(单光子雪崩光二极管),FMCW激光雷达的探测器只需成本更低的PIN就可以了。 为何?

据挚感光子IC设计总监吴雷介绍,在TOF中,光束发出去之后,信号会有近100db的损耗,为保证探测效果,探测器需要将折损了的信号放大,这个放大系数,被称为“增益”,APD和SPA便属于增益比较大的探测器,因而比较贵;而在FMCW中,光束在发出去之前,留了一半在本地,尽管回光也有折损,但本地光还在,这两部分一结合,就把光信号给放大了(光学芯片里面已经有增益了,这被称为“相干增益”)。

此外,在TOF中,APD在将信号放大的同时,把噪音也给放大了,相比之下,FMCW中,“相干增益”是不带噪声的。

因此,在FMCW激光雷达中,增益很小、也更便宜的探测器已足以“胜任”。

3.将探测器跟激光器集成到一起

现在,禾赛、Ouster等TOF激光雷达厂商都在谈激光收发的芯片化,那么,FMCW激光雷达收发模块的芯片化是怎么做的呢?

在TOF激光雷达中,哪怕实现了很高的集成度,探测器和激光器都是部署在不同的芯片上,那么,在FMCW中,探测器和激光器有可能被集成到同一个芯片上吗?在本系列访谈中,《九章智驾》反复追问了这个问题。

答案无一例外是:可以。

据某TOF激光雷达厂商负责人介绍,目前,FMCW激光雷达探测器已经可集成到硅光芯片(该硅谷芯片上集成了分光器、调频器、偏振控制、相干混频阵列等功能)上了,大多数厂商都是这么做的,而激光器是三五族产品,没法直接集成到硅光芯片中;不过,激光器在另一块晶圆上加工好之后,可以再通过一些特殊工艺被贴到硅光芯片上。

洛微CTO Andy Sun说,目前厂商们的做法是,将激光器独立封装,然后通过光纤耦合到硅光芯片上,这种工艺被称为“激光器外置”。Andy Sun认为,激光器外置只是个过渡形态,英特尔等公司已经在朝着“激光器内置”的方向发展了。

某国内FMCW激光类公司CEO奚先生也说,他们目前正在探索将探测器和激光器集成到同一颗ASIC芯片的工艺,“首先实现收发模块的芯片化”。

据挚感光子IC设计总监吴雷介绍,挚感光子也已经自研开发了集成光学芯片及与其配套的光学模组(集成激光器,探测器及镜头),并在开发ASIC电芯片(集成模拟前端及数字信号处理),首先实现收发器的芯片化。

不过,今年5月份,微源光子董事长兼总经理朱晓琪在题为《从硅光通信技术看FMCW lidar的集成挑战》的演讲中指出,要将三五族的激光器芯片跟硅基芯片集成到一起,难度非常大。“不管是光纤输出的波导,还是直接输出的波导,它们的模场都远远大于硅基单模波导模场,同时,这些材料的系数完全不同。”

Andy Sun、朱晓琪等人都承认,英特尔公司已经有办法把激光器集成到硅光芯片中去了。他们说:“这是英特尔的专利”。

据朱晓琪在演讲中的说法,在英特尔的方案中,激光器发光部分本身仍是III-V材料,但通过硅晶圆工艺和硅光集成到一起,被称为“异质集成”。这种方案的工艺是:

1).拿一个硅的晶圆,在晶圆上做好掩埋层跟单晶硅以后,在单晶硅上刻蚀单模波导;

2).准备一个外延片,包括衬底,把延片切成一个一个的芯片;

3).把该芯片倒装贴在做好的硅单模波导上,做好以后先要用一些化学办法把InP衬底去掉,然后去做刻蚀;

4).掺杂n极,做n极的电镀,p极和p极的电镀,做一些等离子的退火;

5).在已经做好的单模波导上出光。

Andy Sun说,从长期看,大家都是要把激光器跟探测器集成到同一颗硅光芯片上的。目前各大提供硅光工艺的代工厂(Foundry),也正在开发各自的激光器集成工艺,相信很快会有相应的工艺选择出现。某TOF激光雷达厂商负责人也认为,如果能避开英特尔的知识产权,这种工艺,其他厂商最终也是有可能搞定的。

不过,Andy Sun也承认,将激光器集成到硅光芯片上的难度很高。他说,英特尔这种方案的代价是,芯片的效率不高,而且能达到的峰值功率不高,“所以它可能需要集成很多个激光器在上面”。

对英特尔这种方案,朱晓琪的观点跟Andy Sun一致。

朱晓琪在演讲中说:“硅的波导仍然有一个尺寸特别小、模场做不大的限制,因此即便能够通过这样的方案出光,出的光也非常非常小——我看到文献以及报道一般都不到10毫瓦,同时量子效率也非常非常低,只能拿来做一些短距离的传输,如果要用它做一些大出光,实际上非常难。”

朱晓琪也承认“英特尔做得比较好”,但他并不太看好其他厂商复制这条道路的前景。“工艺难度非常高,激光器的出光功率非常非常低,也不适合做FMCW激光雷达。”

4.光学镜头跟激光器、探测器集成到到一起

姚建此前在一次演讲中提到,TOF激光雷达由于体制限制,除了信号处理及MEMS扫描外,其他部分很难芯片化。言外之意,光学镜头也很难被芯片化。那么,在FMCW激光雷达中又是怎样的情况呢? 在本系列访谈中,这也是一个被《九章智驾》反复追问的问题。

某FMCW激光雷达公司CEO并不认同“TOF中的光学镜头无法被集成化”这一说法,在他看来,哪怕在TOF中,光学镜头也是可以被集成化的。“单晶硅的光学化技术就可以用于光学镜头的半导体化,这跟激光雷达是TOF还是FMCW是没有关系的。

但无论如何,大家一致认为,在FMCW中,光学镜头是可以被芯片化的。

某不愿具名的FMCW激光雷达公司创始人说:“光学镜头是可以被芯片化的,“有个专业名词叫‘麦卡伦斯超透镜’,就是把镜片做得很薄很薄,然后贴在芯片上就行了,相当于把两个硅片黏在一起,但这个技术目前还不成熟”。

Andy Sun说:“实际上,用OPA做扫描的时候是不需要单独的镜头的,因为OPA的阵列本身就是镜头,有入光孔和出光孔。”某TOF激光雷达厂商负责人也持同样的观点。

三.扫描方案&扫描与收发的集成

1.扫描方案:OPA是终极形态

TOF激光雷达的扫描方式有转镜、MEMS、棱镜、Flash和MEMS等,那FMCW呢? 比较明显的是,目前,多数FMCW激光雷达厂商都选择了OPA扫描方案。

不过,诸多受访者都认为,上述扫描方式均可跟FMCW搭配,某FMCW激光雷达公司创始人说:“你可以说FMCW天生更搭配OPA扫描,但是没有OPA扫描,不代表FMCW就做不出来,它可以用转镜、也可以用MEMS、棱镜。

如国内某公司目前的FMCW及激光雷达就采用了双棱镜扫描、MEMS扫描,挚感光子采用了棱镜扫描,而光勺科技目前用的是机械扫描,明年会换成MEMS(光勺自己只做收发系统,扫描系统是外购的)。

姚建说:“要做长探测距离,OPA只能跟FMCW搭配,但FMCW不一定非得跟OPA搭配。

不过,各受访者一致认为,OPA是FMCW激光雷达最理想的扫描方案,“是终极形态”。

为什么大家如此看好OPA,它的优势在哪里?

OPA即光学相控阵,通过对阵列移相器中每个移相器相位的调节,利用干涉原理(类似的是两圈水波相互叠加后,有的方向会相互抵消,有的会相互增强))实现激光按照特定方向发射。

(上图摘自《智驾在前沿》)

包括挚感光子IC设计总监吴雷在内的多位专家都认为,OPA没有机械部件,是真正的固态扫描。

OPA外,TOF激光雷达的Flash也被认为是“纯固态”但实际上,Flash发射的是面阵光,没有独立的扫描部件。OPAFlash的关键区别在于,Flash像手电筒一样,一下打出来就是一个面,光的能力比较分散,每个点上的能量很小,因而探测距离比较短;而OPA是点扫描,能力比较集中,因而可在同等功率下更实现更长的探测距离”。
(上图摘自《智驾在前沿》)

姚建的解释是:人在看东西的时候,尽管视场角很大,但有一个蚊子飞过来时,我的眼光马上就聚焦(凝视)到这只蚊子身上了,我不需要逐行扫描;因为,逐行扫描不仅效率太低,而且,在飞进飞出的蚊子数量比较多的情况下,很容易有遗漏。OPA就相当于,有100只蚊子飞过来后,我的光束能马上聚焦到这100只蚊子身上,我每时每刻都如此聚焦,这样就不会有目标物被遗漏掉,而且效率特别高。

某TOF激光雷达厂商负责人并不认可这一观点:电子扫描还不会智能到这个程度吧。你已经判断出这有一只蚊子了,才聚焦于这个方向,这相当于“先知道结果,再去追求过程”,你已经知道目标物及其位置了,为什么还要去扫描它呢?

奚先生也认为,OPA不具备聚焦功能,“它原来是平行光,出去还是平行光,只不过换一个角度”。奚先生说,OPA其实利用的是光的衍射相干原理,通过改变材料的折射率或介电常数实现光的偏转,改变有多快,偏转就有多快。

某TOF激光雷达厂商负责人称,理论上,OPA在成熟后,是可以作为光学镜头来使用的。

一位不愿具名的FMCW激光雷达公司创始人说:“诚然,FMCW不一定非得跟OPA搭配,但FMCW的收发系统需要用硅光技术来降成本,如果扫描模块也用基于硅光技术的OPA,那收发和扫描的集成岂不是更容易了?

Andy Sun也认为,FMCW和OPA都需要通过硅光技术平台来实现,因此,无论是刚开始的两个芯片,还是最终变成同一颗芯片,FMCW+OPA都是一个自然而然的技术选择。

不过,尽管OPA被认为是“最性感的终极路线”,但其实现的过程会比较漫长。

姚建说:“十年后,激光雷达一定是FMCW+OPA,但OPA现在还停留在实验室里。

上述不具名人士说:“在2030年之前,FMCW+OPA的方案都很难成熟。

2.扫描跟收发的集成

既然OPA跟发射端都是基于硅光技术平台做,那么,将两个模块集成到一起,就成了题中应有之义。这并非一个大胆的猜想,而是已经有公司在这么实践了。

微源光子董事长兼总经理朱晓琪说,将OPA扫描部件跟相干光路、探测器集成到同一个硅片上,是通信产业已经在做的事情了。接下来,只要能解决将三五族芯片(激光器)跟硅基芯片的集成问题,将扫描和收发集成到一起,就是一个自然而然的结果了。

业界普遍认为,英特尔的FMCW激光雷达中,扫描系统就跟激光收发系统集成到同一颗芯片上了。

为什么英特尔可以做到?一位FMCW激光雷达公司创始人向笔者介绍道:“英特尔的硅光上面是带光源的(只有他们有这个东西),所以他们的硅光已经不再是传统意义上的硅光了,因为它上面既有磷化铟也有硅,它的硅光,我觉得应该叫做‘异质光’,就是两不同的异常的材料。所以,只有他们能走这个路线。

不过,据称硅谷公司LightIC也在尝试这条技术路线了。

国内公司中,洛微CTO Andy Sun人等均称,这也是他们努力的方向。

据Andy Sun的说法,毫米波雷达的扫描跟收发就是集成到一起的,而它的调制方式就是FMCW。

由于扫描系统可以跟收发系统集成到一起,光勺CEO姚建多次强调,FMCW激光雷达“可实现比TOF更高程度的芯片化”,姚建甚至将其称为“真正的芯片化”。

不过,朱晓琪曾在之前的演讲中指出,OPA跟光源之间的耦合会有一个很大的插损,“这是整个业界都很难解决的问题”。而这一难题的解决进度,将在很大程度上决定FMCW激光雷达“真正的芯片化”的进度。


正文结束

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最后再次感谢各位一如既往对九章智驾的支持!

九章智驾 -关于公有云平台的需求调查


参考资料:

激光雷达光源 — FMCW/高频脉冲激光

https://mp.weixin.qq.com/s/jQexTKvDEmshPhLu2u4FbA

FMCW激光雷达厂商SiLC完成1700万美元A轮融资,加速推进机器视觉应用

https://mp.weixin.qq.com/s/XG2kvFKwRYeusjMqR5pTwQ

4D激光雷达来了!Mobileye/电装/采埃孚/大众多家巨头看好新赛道

https://mp.weixin.qq.com/s/RFIqDU7KLJRejgyrE93PYA

Mobileye/英特尔激光雷达剖析

https://mp.weixin.qq.com/s/e53_yptWgqZJPsUoJRnreQ

杭州爱莱达-国内首个FMCW车载激光雷达技术介绍

https://mp.weixin.qq.com/s/TIUP_Nim0e-iKC95PNTk-Q

FMCW激光雷达今年底有望落地,行业巅峰时刻还远未来到

https://www.sohu.com/a/465236648_120190954

激光雷达常见术语汇总

https://mp.weixin.qq.com/s/TIxiC1wd8LQOIxFUyqM1mg

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